文章詳情

3種常見高真空泵(低溫泵、擴(kuò)散泵、分子泵)的對(duì)比

日期:2024-10-28 15:04
瀏覽次數(shù):4341
摘要:
泵的種類 低溫泵 擴(kuò)散泵 渦輪分子泵
工作方式 將氣體微粒凍結(jié)到一塊“多孔性材料”上,
從而捕獲氣體微粒
用快速流動(dòng)的油捕獲氣體微粒,并
將它們導(dǎo)出真空室
用高速旋轉(zhuǎn)的葉片產(chǎn)生強(qiáng)力氣流,從
而將氣體微粒導(dǎo)出腔室
應(yīng)用 尤其適合于半導(dǎo)體及平面顯示器的應(yīng)用
僅用于太陽(yáng)能電池工藝
適合于大多數(shù)應(yīng)用,但半導(dǎo)體除外
建議不要用于反應(yīng)式鍍膜
適合于大多數(shù)應(yīng)用
適合于移動(dòng)速度快的小原子,例如:
氦氣、氫氣和水蒸氣
多種安裝方式,允許任何方向

度高
適用于較大的空間
良好的抽氣特性
無(wú)需維護(hù)
多種安裝方式,允許任何方向
無(wú)污染源
缺點(diǎn) 需要
抽氣速度不穩(wěn)定
氣流較大時(shí)效果不理想
可能造成污染(油氣)
只能直立安裝
建議不要用于活性氣體,存在爆炸危險(xiǎn)
高壓(排氣)可能造成損壞

滬公網(wǎng)安備 31011702004252號(hào)