所在位置: 首頁> 技術文章> 真空知識>
文章詳情

真空概念及真空計算公式

日期:2024-10-29 08:24
瀏覽次數(shù):1522
摘要:
真空概念及真空計算公式
1、真空的定義 
真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)

2、真空度 
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。 

3、真空度單位 
通常用托(Torr)為單位,近年上取用帕(Pa)作為單位。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱 

4、托與帕的轉(zhuǎn)換 
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托 

5、平均自由程 
作無規(guī)則熱運動的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號“λ”表示。 

6、流量 
單位時間流過任意截面的氣體量,符號用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。 

7、流導 
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。
符號記作“U”。   U=Q/(P2- P1)

8、壓力或壓強 
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。 

9、標準大氣壓 
壓強為每平方厘米101325達因的氣壓,符號:(Atm)。 

10、極限真空 
真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時煉氣,再經(jīng)12小時抽真空,后一個小時每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。 

11、抽氣速率 
在一定的壓強和溫度下,單位時間內(nèi)由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。即Sp=Q/(P-P0) 

12、熱偶真空計 
利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關,元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計

13、電離真空計(又收熱陰極電離計) 
由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。

14、復合真空計 
由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成,測量范圍從大氣~10-5Pa。 

15、冷陰極電離計 
陽極筒的兩端有一對陰極板,在外加磁場作用,陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。 

16、電阻真空計 
利用加熱元件的電阻與溫度有關,元件的溫度又與氣體傳導有關的原理,通過電橋電路來測量真空度的真空計。 

17、麥克勞真空計(壓縮式真空計) 
將待測的氣體用汞(或油)壓縮到一極小體積,然后比較開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種真空計。 

18、B-A規(guī) 
這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細絲,放在柵網(wǎng)中心,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,延伸測量下限,可測真空。 

19、水環(huán)真空泵 
泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進行抽氣的機械真空泵。 

20、往復真空泵 
利用活塞的往復運動而進行抽氣的機械真空泵。 

21、油封機械真空泵 
用油來保持密封的機械真空泵,可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。 

22、羅茨真空泵 
具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機械真空泵,此泵不可以單獨抽氣,前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。

23、渦輪分子真空泵 
有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪,當氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時就被驅(qū)向出氣口再由前級泵抽除。 

24、油擴散真空泵 
擴散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下,氣體分子不斷地向蒸流中擴散,并被蒸汽帶向泵處逐級被壓縮后再由前級泵排除 

25、低溫真空泵 
利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。 

26、冷阱(水冷擋板) 
置于真空容器和泵之間,用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。 

27、氣鎮(zhèn)閥 
油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔,并裝上調(diào)節(jié)閥,當打開閥并調(diào)節(jié)入氣量,轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置,空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比,從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。 

28、真空冷凍干燥 
真空冷凍干燥,也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍,使其含有的水份變成冰塊,然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。 

29、真空蒸鍍 
在真空環(huán)境中,將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜。 

30、真空干燥 
利用真空環(huán)境下沸點低的特點來干燥物品的方法。 

31、真空系統(tǒng)常用名稱 
(1)主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
(2)前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
(3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。
(4)維持泵:在真空系統(tǒng)中,氣量很小時,不能地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。 

真空計算公式 

1、玻義爾定律
體積V,壓強P,P·V=常數(shù)
一定質(zhì)量的氣體,當溫度不變時,氣體的壓強與氣體的體積成反比。
即P1/P2=V2/V1

2、蓋·呂薩克定律
當壓強P不變時,一定質(zhì)量的氣體,其體積V與溫度T成正比:
V1/V2=T1/T2=常數(shù)
當壓強不變時,一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(或P降低)1℃,則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。 

3、查理定律
當氣體的體積V保持不變,一定質(zhì)量的氣體,壓強P與其溫度T成正比,即:
P1/P2=T1/T2
在一定的體積下,一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(或降低)1℃,它的壓強比原來增加(或減少)1/273。 

4、平均自由程:
λ=(5×10-3)/P (cm)

5、抽速:
S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P
Q=流量(托·升/秒) P=壓強(托)  V=體積(升) t=時間(秒)

6、通導:
C=Q/(P2-P1) (升/秒)

7、真空抽氣時間:
對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式:
t=8V/S (經(jīng)驗公式)
V為體積,S為抽氣速率,通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。 

8、維持泵選擇:
S維=S前/10

9、擴散泵抽速估算: 
S=3D2 (D=直徑cm)

10、羅茨泵的前級抽速:
S=(0.1~0.2)S羅 (l/s)

11、漏率:
Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)
Q漏-系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s)
V-系統(tǒng)容積(l)
P1-真空泵停止時系統(tǒng)中壓強(mmHg)
P2-真空室經(jīng)過時間t后達到的壓強(mmHg)
t-壓強從P1升到P2經(jīng)過的時間(s)

12、粗抽泵的抽速選擇:
S=Q1/P預 (l/s)
S=2.3V·lg(Pa/P預)/t
S-機械泵抽速
Q1-真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒)
P預-需要達到的預真空度(托)
V-真空系統(tǒng)容積(升)
t-達到P預時所需要的時間
Pa-大氣壓值(托) 

13、前級泵抽速選擇:
排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的大氣體量排走,根據(jù)管路中,各截面流量恒等的原則有:
PnSg≥PgS 或
Sg≥Pgs/Pn
Sg-前級泵的抽速(l/s)
Pn-主泵臨界前級壓強(大排氣壓強)(l/s)
Pg-真空室高工作壓強(托)
S-主泵工作時在Pg時的抽速。(l/s)

14、擴散泵抽速計算公式:
S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)
式中:S-被試泵的抽氣速率(l/s)
n-滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)
t-油柱上升n格所需要的時間(秒)
P-在泵口附近測得的壓強(托)
K-滴管系數(shù)(托·升/秒)
K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt
其中V0-滴管和真空膠管的原始容積(升)
L-滴管刻度部分的長度(mm)
n-滴管刻度部分的格數(shù)(格)
Υ0-油的比重(克/厘米3)
Υm-汞的比重(克/厘米3)
Pa-當?shù)卮髿鈮簭?托)
△Vt-滴管的刻度上的一格的對應的容積(升/格)

15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式:
S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)
式中:Z為旋片數(shù),n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分),L為泵腔長度,D為泵腔直徑,d為轉(zhuǎn)子直徑(cm),Kv為容積利用系數(shù)(一般取95%)。 

16、O型橡膠槽深B=0.7D
D為橡膠直徑,槽寬C=1.6B

17、方形橡膠槽深B=0.8A
A為方形橡膠邊長,槽寬C=1.67B

滬公網(wǎng)安備 31011702004252號